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全面定义硅片尺寸、参数、厚度、
制造方式
精益制造成就中环品质
产品全周期品质可追溯
6 Sigma、SPC精益管理
先进制造推进降本增效
自动化产线, 信息化集成
深蓝定式赋能生产, 实现柔性制造
硅片尺寸
G12 G12+ M10
导电类型
P型 N型
几何参数
规格参数标准单位测试工具测试标准
片厚150-10/+20μmAOI/
总厚度变化≤ 27μmAOIASTM F657
翘曲度≤ 40μmAOIASTM F657
边长210 ± 0.25mmAOI/
直径295 ± 0.25mmAOI/
垂直度90 ± 0.2
AOI/
规格参数标准单位测试工具测试标准
片厚130-10/+20μmAOI/
总厚度变化≤ 27μmAOIASTM F657
翘曲度≤ 40μmAOIASTM F657
边长210 ± 0.25mmAOI/
直径295 ± 0.25mmAOI/
垂直度90 ± 0.2
AOI/
外观特性
规格参数标准单位测试工具测试标准
划道/缺口/孔洞无NONE/OI/目测/
脏污/雾/残留硅渣无NONE/AOI/目测/
崩边长度≤ 500
宽度≤ 300		μmAOI/目测数量≤ 1
线痕(RY)≤ 15μmAOI/MITUTOYO测试仪/
隐裂/裂无NONE/OI/目测/
线纹方向水平方向/目测VISUAL/
规格参数规格参数单位测试工具测试标准
划道/缺口/孔洞无NONE/OI/目测/
脏污/雾/残留硅渣无NONE/AOI/目测/
崩边长度≤ 500
宽度≤ 300		μmAOI/目测数量≤ 1
线痕(RY)≤ 15μmAOI/MITUTOYO测试仪/
隐裂/裂无NONE/AOI/目测/
线纹方向水平方向/目测VISUAL/
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